Microelectronics cleanroom er sérstakt framleiðsluumhverfi til að tryggja vörugæði og skilvirkni í öreindatækniiðnaði. Fyrir þetta verkefni eru margir þættir teknir til greina eins og lofthreinsun, hitastig, raki, rafstöðueiginleikar og hávaðastýring og svo framvegis.
Mismunandi flokkar öreindatækni fyrir hreinherbergi:
1.Framleiðsla á samþættri hringrás
- ISO 1 - 3: oft notað í fullkomnasta ferli ljósets, ætingar og annarra, sem krefjast mjög mikillar stjórnunar á örsmáum ögnum og lítilsháttar mengun getur leitt til galla í flísum.
- ISO 4 - 5: Hentar fyrir þunnt filmuútfellingu, jónaígræðslu og önnur ferli í flísaframleiðslu og hefur einnig strangar kröfur um agnaeftirlit.
2.Hálfleiðara hjúpunarpróf
- ISO 6 - 7: Það getur uppfyllt kröfur flestra umbúðaprófunartengla, svo sem flísumbúða, virkniprófunar osfrv.
3. Framleiðsla á spjaldskjám
- ISO 5 - 6: Notað við húðun og lýsingu á framleiðslu á LCD-skjáborði.
4. Framleiðsla rafeindaíhluta
- ISO 7 - 8: notað til framleiðslu á rafeindahlutum með tiltölulega lágar umhverfiskröfur, svo sem viðnám, þétta osfrv.
Í stuttu máli, því hærra sem flokkur hreinherbergisins er, því færri er fjöldi svifagna í loftinu sem hægt er að stjórna, því hreinna umhverfið og því hentugra fyrir örrafræn framleiðsluferli sem krefjast afar strangs framleiðsluumhverfis. Hins vegar er lægri flokks hreinherbergi hentugur fyrir framleiðsluferli sem krefjast tiltölulega lauss umhverfis.
Helstu tæki lofthreinsunarkerfis í hreinsherbergi fyrir öreindatækni:
1.Loftsía
- Aðalnýtni sía: aðallega notuð til að sía stærri agnir, svo sem ryk, hár osfrv., Til að gegna bráðabirgðahlutverki við að hreinsa loftið.
- Miðlungs skilvirkni síur: sía meðalstór agnir og bæta hreinleika loftsins enn frekar.
- HEPA sía: lykilbúnaðurinn til að ná háum hreinleika með mikilli síunarvirkni fyrir agnir yfir 0,3 míkron
- Ofurafkastamikil sía (ULPA sía): fyrir 0.1 - 0.3 míkron agnir getur síunarnýting hennar verið yfir 99,999% og hún er oft notuð á stöðum þar sem mjög miklar kröfur um hreinleika eru.
2. Vifta
- Ábyrgur fyrir því að knýja loftflæðið, láta loftið fara í gegnum síuna og dreifast í hreinherberginu.
3.Rás
-notað til að flytja síað loft til að tryggja jafna dreifingu lofts til allra svæða hreinherbergisins.
4. Ferskt loft meðhöndlunartæki
- settu ferskt loft fyrir utan, síaðu það og stilltu hitastig og raka til að mæta þörfum hreinherbergisins.
5. Lofthreinsieining
-samþætta margs konar hreinsunar- og ástandsaðgerðir, svo sem síun, dauðhreinsun, rakahreinsun, raka og svo framvegis.
6. Static þrýstihólf
-stöðuga loftflæði, draga úr ókyrrð og hávaða loftflæðis og tryggja jafnt loftflæði í gegnum síur.
7. Hljóðdeyfi
- Dragðu úr hávaða sem myndast af viftum og loftflæði, sem veitir rólegt vinnuumhverfi
8. Mismunaþrýstingsskynjarar og stýringar
- Fylgstu með þrýstingsmun milli mismunandi svæða hreinherbergisins til að tryggja að loft flæði í fyrirfram ákveðna átt til að koma í veg fyrir krossmengun mengunarefna.
Þessi tæki vinna saman að því að tryggja að loftgæði örrafræna hreinherbergisins nái tilskildum hreinleikaflokki.
Lykilskref og tæknileg atriði í örrafrænni hreinherbergisverkfræði:
1. Hönnunarskipulag: í samræmi við framleiðsluferli og kröfur, ákvarða hreinherbergisflokk, svæði, skipulag osfrv. Á sama tíma, flæðisleið starfsmanna, efnis og búnaðar, svo og hönnun lofthreinsunar, loftræstingar og huga ætti að ljósakerfi.
2.Byggingarbygging: það ætti að hafa góða þéttingu og hitaeinangrun til að draga úr áhrifum ytra umhverfisins á innréttinguna. Á sama tíma er nauðsynlegt að nota efni sem ekki er auðvelt að mynda ryk og stöðurafmagn, svo sem ryðfríu stáli og ál.
3. Lofthreinsunarkerfi: það er kjarni hluti af verkfræði í hreinherbergi í öreindatækni. Venjulega eru hávirkar síur, viftur, loftrásir og önnur tæki notuð til að fjarlægja ryk, bakteríur, vírusa og önnur mengunarefni í innilofti, þannig að loftið nái ákveðnu hreinleikastigi.
4. Loftræstikerfi: það verður að geta stjórnað hitastigi innanhúss, raka og þrýstingsmun til að uppfylla kröfur framleiðsluferlisins. Á sama tíma ætti að taka upp orkusparandi og umhverfisvænan loftræstibúnað og tækni til að draga úr rekstrarkostnaði.
5. Rafstöðueiginleikar: Framleiðsluferli örraeinda er hætt við að mynda truflanir sem mun hafa áhrif á gæði vöru. Þess vegna er nauðsynlegt að grípa til ráðstafana til að fjarlægja truflanir, svo sem að nota truflanir, leggja gólf gegn truflanir o.s.frv.
6. Hávaðavörn: Hávaði myndi hafa áhrif á vinnuafköst og heilsu starfsfólks og því þarf að gera hávaðavarnaráðstafanir, svo sem notkun hljóðeinangrunarefna, uppsetningu hljóðdeyða o.fl.
7. Ljósakerfi: það ætti að geta veitt nægilega birtustig og einsleitni til að uppfylla kröfur framleiðsluferlisins. Á sama tíma ætti að taka upp orkusparandi og umhverfisvænan ljósabúnað og tækni til að draga úr rekstrarkostnaði.
8. Starfsmanna- og efnisstjórnun: inngöngu og brottför starfsfólks og efna skal stýrt af ströngu og eftirliti til að draga úr tilkomu ytri mengunarefna. Jafnframt ætti að þjálfa starfsfólk til að bæta hreinlætisvitund sína og rekstrarhæfileika.
9. Próf og sannprófun: eftir að hreinherbergið er byggt ætti að framkvæma prófun og sannprófun til að tryggja að frammistaða hreinherbergisins uppfylli hönnunarkröfur, sem felur í sér lofthreinleika, hitastig, rakastig, þrýstingsmun, stöðurafmagn o.fl.
Að lokum er örrafræn hreinherbergisverkfræði flókið kerfi sem krefst margra þátta. Aðeins með því að tileinka sér háþróaða tækni og búnað er hægt að byggja upp hreinherbergi sem uppfyllir kröfurnar.
maq per Qat: microelectronics cleanroom, Kína microelectronics cleanroom birgja, framleiðendur, verksmiðju
